案例一：
专利号：202610536633.7
专利名称：一种用于真空环境中基片夹板的翻转机构及基片翻转方法
授权公告日：2026.07.31
案例二：
专利号：202610004703.4
专利名称：一种基于线圈感应耦合辅助的溅射系统
授权公告日：2026.07.10
案例三：
专利号：202610004704.9
专利名称：一种ION激光离子源辅助的磁控溅射镀膜系统及工艺
授权公告日：2026.05.29
案例四：
专利号：202610001170.4
专利名称：一种多靶配置的高深孔能力TGV种子层溅镀装置和方法
授权公告日：2026.04.24
案例五：
专利号：202511386146.9
专利名称：一种大面积TGV玻璃表面和深孔内壁的刻蚀与清洗设备
授权公告日：2026.02.13
安徽越好电子装备有限公司专注半导体显示领域真空镀膜技术，是国内领先的半导体显示装备技术供应商。在精金石的专业助力下，安徽越好电子装备有限公司围绕真空基片翻转、线圈感应耦合辅助溅射、ION激光离子源辅助磁控溅射、多靶TGV种子层溅镀以及大面积TGV玻璃刻蚀与清洗等关键环节，已有5件发明专利获得授权，形成覆盖前处理、镀膜与工艺协同的知识产权组合。
